USG 93S
基于油静压技术的超精密数控平面成形磨床――中尺寸超平面成形加工
中尺寸模具·零部件的平面·曲面等超精密镜面成形磨削
行程X轴(左右)
900
行程Y轴(前后)
300
行程Z轴(上下)
300
工作台面大小
1000x400
最大载荷
300
主轴形式
油静压
主轴转速
0~1600RPM
驱动方式X轴(左右)
直线电机
驱动方式Y轴(前后)
直线电机
驱动方式Z轴(上下)
直线电机
数控指令X轴(左右)
0.1um
数控指令Y轴(前后)
0.01um
数控指令Z轴(上下)
0.01um
机械重量
15000kg
数控系统可定制
海德汉
三菱
西门子
国产CNC
CNC控制器
亮点 Highlight
应用举例 Applications
技术参数 Specification
预留选项 Specification
亮点 Highlight
高刚性机械本体
—— 经FEM有限元精细优化设计的高刚性立柱移动机构
—— 亚微米级机械直线精度，确保超精密母体基础精度
—— 低脉动的精密直线电机驱动，确保无反向间隙
静压主轴
—— 世界一流的油静压砂轮主轴技术
—— 全域范围独有的内嵌式动平衡设计，动态回转精度维持数十纳米
精密热变形控制
—— 机床静态及动态构件的精密恒温控制，确保长期高精度切削加工的环境
—— 机床主轴・电机・流体独立同温同调控制，冷却效率高，显著减少热变形
高精度加工
—— 亚微米级机械直线精度，确保超精密母体基础精度
—— 最小磨削进给10纳米，纳米分辨率闭环反馈
—— 微米量级的几何加工精度、镜面加工光洁度
标准金属测试件的高精度平面磨削结果举例
—— 平面度＜1.0um/□200mm,
—— 平行度＜1.0~1.5um
—— 表面质量＜Ra0.1um
应用举例 Applications
镜面磨削
镜面磨削，Ra1nm~20nm
超平面磨削
超平面磨削，平面度0.1~1.0um
曲面磨削
大曲面半径曲面磨削
陶瓷磨削
蓝宝石、石英、SiC、陶瓷等超精磨削, Ra0.5~5nm
精密齿轮磨削
追加第4轴，磨削MASTER级精密齿轮
技术参数 Specification
加工区域
最大工作尺寸
900x300x350mm
工作台移动量(左右x前后)
700x320mm
台面到砂轮中心距离
450mm
最大工件重量
300kg
砂轮主轴
主轴形式
油静压
外径x宽度x内径
Φ305x50xΦ127mm
转速
1600RPM
移动轴
左右（工作台）
驱动形式
直线电机
最大速度
30,000mm/min
最小指令
0.0001 · 0.00001mm
前后（立柱）
驱动形式
直线电机
最大速度
5000mm/min
最小指令
0.00001mm
上下（主轴头）
驱动形式
直线电机
最大速度
5000mm/min
最小指令
0.00001mm
加工材料
淬火模具钢
√
超硬合金
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硬脆晶体・硬脆非晶体
√
大理石、斑类岩
√
有色金属
√
碳钢、铸铁等
√
其它合金
√
预留选项 Specification